Покриття магнетронним напиленням – це новий тип фізичного методу нанесення покриття з парової пари, який використовує систему електронної гармати для випромінювання та фокусування електронів на матеріалі, який потрібно покрити, таким чином, щоб розпилені атоми дотримувалися принципу перетворення імпульсу, щоб матеріал мав вищу механічну здатність. властивості. Матеріал, на який потрібно нанести покриття, називається мішенню для розпилення, яка в основному включає метали, сплави та керамічні сполуки. FANMETAL може надати клієнтам високоякісні металеві мішені, такі якМішень для напилення чистого хрому, Золота мішень для напилення,Титано-алюмінієва мішень для напиленняі мішень для напилення міді. Надішліть нам електронний лист, щоб повідомити про свої потреби.
1. Чистота
Чистота є одним з основних показників ефективності мішені, тому що чистота мішені має великий вплив на продуктивність плівки. Однак у практичних застосуваннях вимоги до чистоти мішені також відрізняються. Наприклад, із швидким розвитком мікроелектронної промисловості розмір кремнієвих пластин зріс із 6 дюймів, 8 дюймів до 12 дюймів, а ширину проводки зменшено з 0.5um до 0 .25 мкм, 0.18 мкм або навіть 0.13 мкм. Попередня цільова чистота становила 99,995 відсотка. Це може відповідати технологічним вимогам 0.35 мкм IC, тоді як підготовка {{15 }} Лінії .18um вимагають 99,999 відсотка або навіть 99,9999 відсотка цільової чистоти.
2. Вміст домішок
Основними джерелами забруднення осадженої плівки є домішки в цільовій твердій речовині, а також кисень і волога в порах. Цільові матеріали для різних цілей мають різні вимоги до різного вмісту домішок. Наприклад, мішені з чистого алюмінію та алюмінієвих сплавів, які використовуються в напівпровідниковій промисловості, мають особливі вимоги щодо вмісту лужних металів і радіоактивних елементів.
3. Щільність
Щоб зменшити пори в цільовому твердому тілі та покращити характеристики напиленої плівки, мішень зазвичай повинна мати вищу щільність. Щільність мішені впливає не тільки на швидкість розпилення, а й на електричні та оптичні властивості плівки. Чим вища цільова щільність, тим кращі характеристики плівки. Крім того, збільшення щільності та міцності мішені робить мішень більш здатною протистояти термічному стресу під час процесу напилення. Щільність також є одним з ключових показників ефективності мішені.
4. Розмір зерна та гранулометричний склад
Зазвичай цільовий матеріал являє собою полікристалічну структуру, а розмір зерен може коливатися від мікронів до міліметрів. Для того самого матеріалу мішені швидкість розпилення мішені з дрібними зернами є вищою, ніж швидкість розпилення мішені з крупними зернами; і розподіл товщини плівки, нанесеної напиленням, з меншою різницею розмірів зерна (рівномірний розподіл) більш рівномірний.
