Металеві мішені складаються з одного металу або металевого сплаву, який був спеціально оброблений і вдосконалений відповідно до вимог високої чистоти та специфічної мікроструктури. Звичайні металеві мішені включають мідь, алюміній, срібло, титан та їхні сплави. Металеві мішені вибираються на основі їхніх унікальних фізичних і хімічних властивостей для оптимізації продуктивності та ефективності таких процесів, як іонна імплантація та осадження тонкої плівки. Наша компанія може надатиTitanium Ti Sputtering Target, 99,95% цирконієві мішеніі хромовані мішені та інші металеві мішені, якщо вам потрібно, будь ласка, напишіть нам.
Керамічні мішені складаються з неметалічних сполук високої чистоти, включаючи оксиди, силікати, нітриди тощо. Ці мішені готують методами високотемпературного спікання для формування твердих матеріалів зі складними хімічними та фізичними властивостями. Їх унікальний склад дає їм незамінне місце у високотехнологічних додатках, особливо у виробництві напівпровідників, оптоелектронних матеріалів і технології тонких плівок.
1. Вартість і складність підготовки
Підготовка керамічних мішеней складна не тільки через процес високотемпературного спікання, але також через необхідність контролювати їх чистоту та мікроструктуру для забезпечення ефективності кінцевого продукту. Навпаки, процес плавлення та обробки металевих мішеней є відносно простим, з високою пластичністю та легким формуванням та обробкою.
З точки зору вартості металеві мішені зазвичай дешевші за керамічні через відносно простий процес вилучення, обробки та підготовки металу. Однак приготування керамічних мішеней вимагає більш складного процесу
2. Фізико-хімічні властивості
Завдяки своїй унікальній хімічній структурі керамічні мішені зазвичай мають вищу твердість і температуру плавлення, що робить їх більш стабільними при високих температурах і придатними для високотемпературних процесів осадження плівки. Особливо в умовах високої температури або корозійного середовища. Вони не реагують легко з іншими елементами, зберігаючи чистоту та стабільність матеріалу.
Металеві мішені підходять для різноманітних складних вимог підготовки форми, особливо з точки зору тепло- та електропровідності, які значно перевершують керамічні мішені, що робить їх кращими в програмах, які вимагають хорошого керування температурою та електричних властивостей. Однак за певних умов він може окислюватися або піддаватися корозії.
3. Область застосування
Металеві мішені широко використовуються в ситуаціях, коли потрібна хороша провідність і теплопровідність, наприклад, підготовка провідних плівок, плівок із дзеркальним відображенням і виробництво магнітних матеріалів. Їх чудова пластичність також дає їм перевагу у виготовленні мішеней складної форми.
Завдяки високій чистоті, хімічній стабільності та високій температурі плавлення керамічні мішені мають унікальне застосування у виробництві напівпровідників, високотемпературному осадженні тонких плівок і підготовці фотоелектричних матеріалів. Для цих застосувань часто потрібні матеріали з надзвичайно високими стандартами продуктивності.
