З конструктивної точки зору мішень в основному складається з двох частин: «заготовка мішені» і «задня пластина». Заготовка мішені — це матеріал мішені, який бомбардується високошвидкісним іонним променем. Це основна частина мішені для розпилення та передбачає контроль орієнтації металу та зерна високої чистоти. Задня пластина в основному відіграє роль фіксації мішені для розпилення та включає процес зварювання. В даний час звичайні матеріали задньої панелі мішені для розпилення в основному включають безкисневу мідь, мідний сплав, молібден і матеріали опорної пластини для труб з нержавіючої сталі.
1. Причини встановлення задньої панелі
Вузол мішені складається із заготовки мішені з характеристиками напилення та об’єднавчої панелі, об’єднаної з заготовкою мішені шляхом зварювання. У процесі напилення вузол мішені знаходиться в жорстких робочих умовах. Одна сторона задньої панелі сильно охолоджується певним тиском охолоджувальної води, тоді як одна сторона заготовки мішені знаходиться у високотемпературному вакуумному середовищі, тому на протилежних сторонах вузла мішені утворюється величезна різниця тиску. Крім того, одна сторона мішені бомбардується різними частинками в електричному полі високої напруги та сильному магнітному полі, у результаті чого виділяється багато тепла.
У такому суворому середовищі, щоб забезпечити стабільність якості плівки та якості збірки мішені, якість цільової заготовки та об’єднавчої плати та швидкість зварювання стають все більш вимогливими, інакше легко вести до деформації та розтріскування вузла мішені в гарячих умовах, що впливає на якість плівки та навіть спричиняє пошкодження основи для напилення.
2. Матеріали для виготовлення задньої панелі
Опорна пластина в основному використовується для фіксації матеріалу мішені для розпилення та повинна мати хорошу електро- та теплопровідність. Під час процесу нанесення покриття магнетронним розпиленням мішень має витримувати як тиск охолоджуючої води на тильній стороні, так і негативний тиск вакууму на передній частині. Задні панелі з міді та мідних сплавів часто вибирають як цільові плінтуса, оскільки вони мають наступні переваги:
(1) Висока теплопровідність: він може ефективно відводити тепло, що виділяється на цільовій поверхні під час процесу напилення, до системи охолодження. Це допомагає підтримувати стабільну температуру мішені та запобігає тріщинам мішені або погіршенню продуктивності через перегрів.
(2) Має високу електропровідність: може покращити ефективність провідності струму під час процесу напилення. Це допомагає зменшити втрати опору між мішенню та магнетронною системою розпилення, тим самим покращуючи ефективність розпилення.
(3) Висока механічна міцність: може забезпечити стабільну підтримку. Це допомагає гарантувати, що мішень не трісне через вібрацію чи напругу під час процесу напилення.
(4) Рівномірне напилення: мідна пластина може покращити розподіл електромагнітного поля мішені, тим самим досягаючи більш рівномірного напилення та покращуючи однорідність плівки.
(5) Подовження терміну служби мішені: завдяки високій теплопровідності та електропровідності мідної опорної пластини можна зменшити робочу температуру та втрату опору мішені, тим самим уповільнюючи знос мішені та подовжуючи його термін служби.
3. Процес зв'язування задньої плати
(1) Попередньо обробіть поверхню мішені та задньої мішені перед зв’язуванням;
(2) Закріпіть задню мішень на нагрівальному столі, покладіть мішень на задню пластину та нагрійте її до температури зв’язування;
(3) Металізуйте мішень і задню мішень і припаяйте мішень до мідної задньої пластини;
(4) З’єднайте мішень із задньою мішенню, помістіть противагу на поверхню мішені подалі від мідної опорної пластини та зніміть противагу, коли мішень охолоне;
(5) Постобробка охолодження.
