Напилення мішені, як основна технологія поверхневої інженерії та технології тонких плівок, відноситься до використання іонів або інших заряджених частинок, щоб вразити мішень у високоенергетичному стані, тим самим запускаючи передачу кінетичної енергії та транспортування матеріалу цільових атомів або молекул . Збуджені атоми або молекули відриваються від поверхні мішені та осідають на підкладку у високошвидкісному русі, утворюючи тонку плівку з однорідною або специфічною структурою.
1. Класифікація
(1) Напилення постійного струму
Принцип: напилення постійного струму використовує постійне джерело живлення постійного струму як джерело енергії та в основному підходить для цілей з хорошою провідністю, таких як метали.
Особливості: він має переваги простого обладнання, легкої експлуатації та високої швидкості осадження. Це не стосується ізоляційних матеріалів, оскільки вони не можуть забезпечити ефективний транспорт заряду.
(2) Радіочастотне напилення
Принцип: радіочастотне напилення використовує радіочастотну потужність (зазвичай у діапазоні МГц), так що непровідні матеріали (такі як кераміка, оксиди) також можуть бути розпилені.
Особливості: здатність напилювати ізоляційні матеріали з більшою однорідністю осадження. Однак через складну систему живлення та керування вартість і труднощі з обслуговуванням відносно високі.
(3) Магнетронне розпилення
Принцип: на основі традиційного розпилення магнітне поле створюється шляхом розміщення магнітів поблизу мішені, що підвищує щільність і стабільність плазми.
Особливості: покращена ефективність напилення та якість плівки, зменшене споживання цілі. Може працювати при більш низькому тиску повітря, тим самим зменшуючи вплив частинок газу на плівку.
(4) Реактивне розпилення
Принцип: під час процесу напилення реактивні гази (такі як кисень, азот) вводяться в робочу атмосферу для хімічної реакції з атомами мішені з утворенням складної плівки.
Характеристики: Можна отримувати різноманітні складні плівки, такі як оксиди, нітриди, карбіди тощо. Однак контроль є складним і вимагає точного регулювання швидкості потоку та тиску реактивного газу.
(5) Високопотужне імпульсне магнетронне розпилення
Принцип: Використовуйте потужний імпульсний джерело живлення для створення плазми високої щільності протягом короткого періоду часу, щоб збільшити швидкість розпилення.
Особливості: можна отримати більш гладкі та щільні плівки. Але через високе енергоспоживання контроль температури та довговічність пристрою стають проблемами.
2. Застосування
(1) Напівпровідникова промисловість
Технологія напилення використовується для нанесення провідних, ізоляційних і екрануючих шарів, які є критично важливими для виготовлення високопродуктивних інтегральних схем і мікроелектронних пристроїв.
(2) Оптичні програми
Дзеркала та антиблікові покриття: тонкі плівки, отримані за допомогою методів напилення, можна використовувати для виготовлення різноманітних оптичних компонентів, таких як лінзи, лінзи та дзеркала в лазерних системах. Світлопоглинаючий шар і провідний шар у сонячних батареях також часто готують шляхом напилення.
(3) Декоративне покриття
Автомобільна та будівельна промисловість: плівки з напиленням використовуються для декоративних покриттів на автомобільних деталях і будівельних матеріалах, не тільки забезпечуючи естетичний зовнішній вигляд, але й підвищуючи стійкість матеріалу до зносу та корозії. Корпуси та декоративні частини споживчої електроніки, наприклад мобільних телефонів і комп’ютерів, також часто використовують технологію напилення для покриття зносостійких і красивих плівок.
(4) Спеціальні функціональні плівки
Він може наносити високотверду та зносостійку плівку на поверхні інструментів і форм для продовження терміну служби інструменту. Крім того, плівки з напиленням можна використовувати для регулювання пропускання світла в технології розумних вікон для будівель і автомобілів.
(5) Біомедична сфера
Біосумісні плівки, як правило, осаджують методом напилення для підвищення сумісності штучних суглобів або зубних імплантатів з тілом людини.
FANMETAL може надати клієнтам різні металеві мішені для розпилення, такі як титанові алюмінієві мішені, вольфрамові мішені та хромові металеві мішені тощо.
