Молібденова мішень - це спеціальна металева мішень, виготовлена з молібдену, яка в основному використовується у сферах високих технологій. Молібден, сріблясто-білий метал, відомий своєю високою температурою плавлення та хорошою електро- та теплопровідністю, що дозволяє йому залишатися стабільним у середовищі з високою температурою або високим тиском. Таким чином, молібденові мішені відіграють важливу роль у виробництві напівпровідників, технології осадження тонких плівок, фотоелектричній промисловості та медичному обладнанні для візуалізації. Молібденові мішені можна виготовляти шляхом гарячого ізостатичного пресування (HIP), плавлення, хімічного осадження з парової фази (CVD) і фізичного осадження з парової фази (PVD). Кожен метод має свої особливості і сферу застосування. Виберіть відповідну технологію приготування. Залежить від кінцевого використання необхідної молібденової мішені, необхідної продуктивності та економічних міркувань.
Скріплена мідна підкладка не тільки покращує цільову продуктивність, але й допомагає зменшити експлуатаційні витрати, що особливо важливо для галузей, які покладаються на довгострокові стабільні процеси нанесення тонкої плівки. Він має такі переваги:
1. Підвищення ефективності теплопровідності: мідь має надзвичайно високу теплопровідність (близько 400 Вт/м·К), що набагато вище, ніж у молібдену. Зв’язування молібденової мішені з мідною підкладкою може значно покращити загальну ефективність теплопровідності мішені. Під час високошвидкісних процесів нанесення покриття це допомагає швидше відводити тепло від молібденової мішені, таким чином запобігаючи перегріванню мішені.
2. Зменшити термічне навантаження: під час процесу осадження термічне навантаження на цільовий матеріал може спричинити тріщини та розломи. Висока теплопровідність мідної опорної пластини сприяє рівномірному розподілу тепла та зменшує концентрацію термічного навантаження на молібденову мішень, тим самим зменшуючи пошкодження, спричинені нагріванням.
3. Подовження терміну служби: завдяки зменшенню термічної напруги та підвищенню термічної ефективності мідна пластина може значно подовжити термін служби молібденової мішені. Ця комбінація допомагає запобігти передчасному зносу або пошкодженню цілей під час використання, що призводить до менш частої заміни та зниження довгострокових витрат.
4. Поліпшення механічної стабільності: додавання мідної опорної пластини також підвищує загальну механічну стабільність мішені. Це особливо важливо під час високошвидкісних процесів осадження, оскільки це допомагає зберегти структурну цілісність мішені та зменшити пошкодження через механічний удар або вібрацію.
5. Сильна адаптивність: цей метод зв’язування може регулювати товщину та форму мідної об’єднавчої плати відповідно до різних вимог застосування, забезпечуючи більшу гнучкість і адаптивність. Це дозволяє молібденовим мішеням краще відповідати вимогам конкретного обладнання та процесів осадження.
